Innovative Ofen-Technologie

1982 gegründet, hat sich die ATV Technologie GmbH als weltweit führendes Unternehmen in der Mikroelektronik-Branche mit umfassender Expertise in der Herstellung von Vakuumlötgeräten und Prozessöfen etabliert. Die Wärmebehandlung von Materialien unter Magnetfeldern ist essenziell für die Produktion hochwertiger magnetischer Dünnschichten, die in siliziumbasierten Anwendungen wie Sensoren oder Speichermedien eine zentrale Rolle spielen. Ein vorgeschalteter Glühvorgang optimiert dabei gezielt die magnetischen Materialeigenschaften. Die Entwicklung entsprechender Glühöfen ist jedoch komplex, erfordert ausgefeilte Technik und stellte selbst erfahrene Unternehmen wie die ATV Technologie GmbH vor Herausforderungen.

Im Rahmen des EDIH Applied CPS holte man daher Silicon Austria Labs (SAL) ins Boot. Eine Machbarkeitsstudie sollte zunächst Klarheit darüber schaffen, inwieweit die Projektpartner ihr Fachwissen in die Entwicklung einer Magnetkreis-basierten Ofen-Technologie einbringen können. Darauf aufbauend wurde ein detailliertes Anforderungsprofil für magnetische Glühöfen abgeleitet, das unter anderem optimale Feldstärke-, Druck- und Temperaturbereiche umfasst. Auf Basis finiter Element-Magnetfeldsimulationen konnten zudem wesentliche Parameter für die Dimensionierung der Magnetfeldspulen und die notwendige Feldabschirmung definiert werden.

Parallel dazu entstand eine Marktanalyse zur wirtschaftlichen Relevanz jener Anwendungen, die einen magnetischen Wärmebehandlungsprozess erfordern. Diese Ergebnisse bilden nicht nur eine solide Grundlage für künftige Investitionsentscheidungen, sondern tragen auch wesentlich zur Digitalisierung des Unternehmens bei.

Seit September 2025 firmiert ATV unter dem Namen Kurtz Ersa Semicon GmbH. Die im Projekt erarbeiteten Erkenntnisse und Ergebnisse sind vollständig in das neue Unternehmen übergegangen. Damit bleiben das entwickelte Know-how, die Technologieansätze und die gemeinsam definierten Parameter nicht nur erhalten, sondern bilden eine wertvolle Basis für zukünftige Entwicklungen im Bereich magnetischer Wärmebehandlungsprozesse. Die angestrebte Ofentechnologie verspricht deutliche Steigerungen in der Energieeffizienz und steht damit ganz im Zeichen des European Green Deal.