Zielgruppe:
KMU mit Projekt-/Produktideen im Bereich Sensorik, Mikrosysteme usw., die nicht über die Mittel zur Herstellung eines Prototyps verfügen; Produktions-KMU, die eine bestimmte Art der Charakterisierung benötigen
Motivation:
- Adaption von vorhandenen Devicedesigns von Sensoren, Mikrosystemn etc.
- Testen von Prozess- und Charakterisierungsschritten
- Möglicherweise erster Preto/Prototyp, um weitere Investitionen anzuziehen
Inhalte:
Die Dienstleistung umfasst partielle oder vollständige Mikrofabrikationsschritte in einer RR-Umgebung (z. B. Abscheidung, Lithografie, Ätzen, Charakterisierung usw.) mit dem Ziel, einen ersten Preto/Prototyp auf der Grundlage der Produktidee des KMU oder Modifikationen bereits bestehender SAL-Designs herzustellen.